Lithographie machin Mask Aligner Photo-Etching machin
Entwodiksyon pwodwi
Sous limyè ekspoze a adopte enpòte UV LED ak sous limyè modil fòme, ak ti chalè ak bon estabilite sous limyè.
Estrikti ekleraj Envèse a gen bon efè dissipation chalè ak sous limyè efè fèmen, ak ranplasman lanp mèki ak antretyen yo senp ak pratik.Ekipe ak gwo agrandisman binokilè doub mikwoskòp jaden ak 21 pous ekran LCD lajè, li ka vizyèlman aliyen nan
oculaire oswa CCD + ekspozisyon, ak presizyon aliyman segondè, pwosesis entwisyon ak operasyon pratik.
Karakteristik
Avèk fonksyon pwosesis fragman
Nivelman presyon kontak asire repetibilite atravè Capteur
Diferans aliyman an ak diferans ekspoze yo ka mete nimerik
Sèvi ak òdinatè entegre + operasyon manyen ekran, senp ak pratik, bèl ak jenere
Rale kalite monte ak desann plak, senp ak pratik
Sipòte ekspoze kontak vakyòm, ekspoze kontak difisil, ekspoze kontak presyon ak ekspoze pwoksimite
Avèk fonksyon koòdone nano anprint
Ekspozisyon sèl kouch ak yon sèl kle, wo degre de automatisation
Machin sa a gen bon fyab ak demonstrasyon pratik, espesyalman apwopriye pou ansèyman, rechèch syantifik ak faktori nan kolèj ak inivèsite.
Plis detay
Spesifikasyon
1. Zòn ekspoze: 110mm × 110mm;
2. ★ Longèdonn ekspoze: 365nm;
3. Rezolisyon: ≤ 1m;
4. Presizyon aliyman: 0.8m;
5.La ranje mouvman nan tab la optik nan sistèm aliyman an dwe omwen satisfè: Y: 10mm;
6. Tib limyè gòch ak dwa sistèm aliyman an ka deplase separeman nan direksyon X, y ak Z, direksyon X: ± 5mm, direksyon Y: ± 5mm ak direksyon Z: ± 5mm;
7. Gwosè mask: 2.5 pous, 3 pous, 4 pous, 5 pous;
8. Gwosè echantiyon: fragman, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ Apwopriye pou epesè echantiyon: 0.5-6mm, epi li ka sipòte moso echantiyon 20mm nan pi plis (personnalisé);
10. Mòd ekspoze: distribisyon (mòd dekont);
11. Pa inifòmite nan ekleraj: ＜ 2.5%;
12. Doub jaden CCD aliyman mikwoskòp: lantiy rale (1-5 fwa) + lantiy objektif mikwoskòp;
13. Konjesyon serebral mouvman mask la relatif nan echantiyon an dwe omwen satisfè: X: 5mm;Y: 5mm;: 6º；
14. ★ Ekspozisyon enèji dansite: > 30MW / cm2,
15. ★ Pozisyon aliyman an ak pozisyon ekspoze travay nan de estasyon, ak de estasyon servo motè a chanje otomatikman;
16. Nivelman presyon kontak asire repetibilite atravè Capteur;
17. ★ Diferan aliyman an ak diferans ekspoze ka mete dijital;
18. ★ Li gen koòdone nano anprint ak koòdone pwoksimite;
19. ★ Manyen ekran operasyon;
20. An jeneral dimansyon: Apeprè 1400mm (longè) 900mm (lajè) 1500mm (wotè).
